電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比，電子氣體特殊在氣體的純凈度要求極高，所以也稱為電子特種氣體。電子特種氣體不僅用于半導(dǎo)體工業(yè)，還用于LED、LCD、分立器件、非晶硅太陽能電池和光導(dǎo)纖維的制造。在硅片制造廠，一個硅片需要兩到三個月的工藝流程，完成450道或更多的工藝步驟才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序，需要的高純電子化學(xué)氣體及電子混合氣高達30多種以上，且每一種氣體應(yīng)用在特定的工藝步驟中。