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本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化抽取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主要被用來提供還原氣，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

氫氣技術(shù)指標

試驗方法

1 抽樣、判定和復(fù)驗

1. 1 瓶裝、集裝格裝氫產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗并驗收。當驗收結(jié)果有任何一項不符合本標準技術(shù)要求時，則判為不合格。

1.2 對穩(wěn)定生產(chǎn)的管道輸送的氣由供需雙方確定抽樣頻數(shù)。企業(yè)應(yīng)確保管道輸送的氫產(chǎn)品符合本標準技術(shù)要求。

1.3 氫采樣安全應(yīng)符合GB/T 3723的規(guī)定。

氫氣在出廠時應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險化學品生產(chǎn)許可證編號

生產(chǎn)日期或批號，成品壓力，產(chǎn)品技術(shù)指標

本標標準號及產(chǎn)品等級，檢驗員號

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